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• 超安静运动,20 kHz驱动频率;• 70 × 70 mm × 20 mm 极紧凑外形设计;• 闭环控制 · 空间传感分辨率(.O) 0.03urad;• 最⼩步伐优于 2urad;• 可提供多轴堆叠安装转接件;• 控制器兼容旋转台,摇摆台;• ⽀持⾼真空(.HV)和超⾼真空(.UHV)选件;
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