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压电·线性位移台— LS65x.Lab (闭环)
• 超安静运动，20 kHz驱动频率；
• 65 mm × 65 mm × 13 mm极紧凑外形设计；
• 闭环控制 · 位置传感⽀持光学型(.O)；
• ⾼精度 · 空间传感分辨率(.O) 2nm(默认); 0.5nm 可选；
• 最⼩步伐优于 5 nm；
• 可提供多轴堆叠安装转接件；
• 控制器兼容旋转台，摇摆台；
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件；
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