EALU系列超高精密电动滑台
五相电机 交叉滚柱导轨 全系产品支持定制1.标配5相电机；
2.重复定位小于0.5um、0.6um；
3.最下步长小于0.5um
4.定位精度小于10um
五相电机 交叉滚柱导轨 全系产品支持定制
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